专利名称: |
一种X射线CT成像装置 |
摘要: |
本发明公开了一种X射线CT成像装置,包括:X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座;X射线管可转动连接于X射线管回转座上;局部高精度探测器可转动连接于局部高精度探测器回转座上;椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品,X射线管设置在椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上,电路板样品、局部高精度探测器依次设置于X射线管发出的射线经椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。本发明解决了现有技术中难以对大面积集成电路板进行局部高精度扫描的难题,能够对电路板关键部件的散热结构、芯片焊接等情况进行CT成像,极大地提高了大面积集成电路板的质量检测效果。 |
专利类型: |
发明专利 |
申请人: |
东莞材料基因高等理工研究院 |
发明人: |
贡志锋;马艳玲;高建波;张书彦;詹霞;王晨;张鹏;魏海冰 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
1900-01-20T16:00:00+0805 |
发布日期: |
1900-01-20T00:00:00+0805 |
申请号: |
CN201911292550.4 |
公开号: |
CN111077172A |
代理机构: |
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) |
代理人: |
王忠浩 |
分类号: |
G01N23/046;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/046 |
申请人地址: |
523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区礼宾路1号松山湖控股大厦9楼 |
主权项: |
1.一种X射线CT成像装置,其特征在于,包括:X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座;所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上;所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上;所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品,所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上,并且,所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。 2.如权利要求1所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括主探测器;所述主探测器设置在所述电路板样品相对于所述X射线管的另一侧上,所述电路板样品位于所述X射线管和所述主探测器的连线方向上;所述局部高精度探测器回转座固定连接在所述主探测器的侧部。 3.如权利要求2所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括回转平台;所述电路板样品可转动连接于所述回转平台上。 4.如权利要求3所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括X-Y移动平台,所述X-Y移动平台包括相互垂直设置的第一滑轨组件和第二滑轨组件;所述第一滑轨组件包括第一滑轨、第一滑块以及用于驱动所述第一滑块的第一电机;所述第二滑轨组件包括第二滑轨、第二滑块以及用于驱动第二滑块的第二电机;所述第二滑轨固定连接在所述第一滑块上,所述回转平台固定连接在所述第二滑块上。 5.如权利要求4所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括底座;所述第一滑轨组件固定连接在所述底座上。 6.如权利要求5所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括固定垂直设置在所述底座上的两个侧板;所述X射线管和所述主探测器相对设置在两个所述侧板上。 7.如权利要求6所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括设置在一所述侧板上的第三滑轨组件,所述第三滑轨组件包括第三滑轨和第三滑块,所述X射线管回转座固定连接在所述第三滑块上。 8.如权利要求7所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括支撑臂;所述支撑臂包括两个通过旋转关节铰接的杆体,所述支撑臂的一端固定连接在所述第三滑块的侧部,另一端与所述椭圆反射镜固定连接。 9.如权利要求6所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述X射线CT成像装置还包括设置在一所述侧板上的第四滑轨组件,所述第四滑轨组件包括第四滑轨和第四滑块,所述主探测器固定连接在所述第四滑块上。 10.如权利要求1所述的X射线CT成像装置,其特征在于,所述椭圆反射镜为多层镀膜反射镜。 |
所属类别: |
发明专利 |