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原文传递薄膜的检测方法

专利名称：	薄膜的检测方法
摘要：	本申请实施例公开了一种薄膜的检测方法，包括：向待测薄膜的第一表面提供激光脉冲激发信号，以在待测薄膜中激发超声波；其中，待测薄膜包括相对的第一表面和第二表面；获取超声波在待测薄膜中传播的信号谱；根据信号谱，确定超声波的至少两个回波的回波参数；其中，至少两个回波为超声波经第二表面反射后回到第一表面的波，回波参数包括回波的信号幅值以及回波到达第一表面的回波到达时间；根据至少两个回波的回波参数，确定超声波在待测薄膜中传播的平均声速；根据平均声速和回波到达时间，确定待测薄膜的厚度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	长江存储科技有限责任公司
发明人：	李辉;王凌;徐俊
专利状态：	有效
申请日期：	2021-11-25T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-22T00:00:00+0800
申请号：	CN202111412733.2
公开号：	CN114216857A
代理机构：	北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人：	张雪;张颖玲
分类号：	G01N21/17;G01B11/06;G;G01;G01N;G01B;G01N21;G01B11;G01N21/17;G01B11/06
申请人地址：	430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
主权项：	1.一种薄膜的检测方法，其特征在于，包括：向待测薄膜的第一表面提供激光脉冲激发信号，以在所述待测薄膜中激发超声波；其中，所述待测薄膜包括相对的所述第一表面和第二表面；获取所述超声波在所述待测薄膜中传播的信号谱；根据所述信号谱，确定所述超声波的至少两个回波的回波参数；其中，所述至少两个回波为所述超声波经所述第二表面反射后回到所述第一表面的波，所述回波参数包括所述回波的信号幅值以及所述回波到达所述第一表面的回波到达时间；根据所述至少两个回波的回波参数，确定所述超声波在所述待测薄膜中传播的平均声速；根据所述平均声速和所述回波到达时间，确定所述待测薄膜的厚度。 2.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述根据所述至少两个回波的回波参数，确定所述超声波在所述待测薄膜中传播的平均声速，包括：建立以所述平均声速为因变量，所述至少两个回波的信号幅值和回波到达时间的比值为自变量的第一线性回归方程；将所述待测薄膜的至少两个回波的信号幅值和回波达到时间代入所述第一线性回归方程，计算出所述超声波在所述待测薄膜中传播的平均声速。 3.根据权利要求2所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述建立以所述平均声速为因变量，所述至少两个回波的信号幅值和回波到达时间的比值为自变量的第一线性回归方程，包括：建立以所述平均声速为因变量，所述至少两个回波的信号幅值和回波到达时间的比值为自变量的第一线性回归模型；向多个不同密度和/或厚度的校准薄膜的第一表面提供激光脉冲激发信号，以在所述校准薄膜中激发超声波；并获取所述超声波在多个所述校准薄膜中传播的多个校准信号谱；根据多个校准信号谱，确定超声波在每一所述校准薄膜中传播的至少两个回波的回波参数；其中，所述回波参数包括回波的信号幅值和回波到达时间；获取多个所述校准薄膜的厚度，并根据每一所述校准薄膜的厚度和所述回波到达时间，确定出所述超声波在每一所述校准薄膜中传播的声速；根据每一所述校准薄膜对应的所述声速，以及所述至少两个回波的信号幅值和回波到达时间，确定所述第一线性回归模型的第一回归系数，得到所述第一线性回归方程。 4.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述获取超声波在所述待测薄膜中传播的信号谱，包括：从提供所述激光脉冲激发信号的时刻开始，在延迟预设时长后向所述第一表面提供激光脉冲探测信号，所述激光脉冲探测信号与所述激光脉冲激发信号以不同的角度射入至所述第一表面；检测所述激光脉冲探测信号从所述第一表面反射的反射信号；根据所述反射信号的信号谱，确定所述超声波在所述待测薄膜中传播的信号谱。 5.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述根据所述信号谱，确定所述超声波的至少两个回波的回波参数的步骤，包括：根据所述信号谱，确定所述超声波的一次回波和二次回波的回波参数；其中，所述一次回波为所述超声波第一次经所述待测薄膜的第二表面反射后回到所述第一表面的波，所述二次回波为所述超声波第二次经所述待测薄膜的第二表面反射后回到所述第一表面的波。 6.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述获取所述超声波在所述待测薄膜中传播的信号谱的步骤之后，所述方法还包括：根据所述信号谱，确定在所述第一表面以下预设深度的膜体内传播的表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间；其中，所述预设深度小于所述待测薄膜的第一表面至第二表面的厚度；根据所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间，确定所述表面波在所述第一表面以下预设深度的膜体内传播的表面声速；计算所述表面声速和所述平均声速的比值；其中，所述比值表征所述待测薄膜的物理性质。 7.根据权利要求6所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述根据所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间，确定所述超声波在所述待测薄膜表层传播的表面声速，包括：建立以所述表面声速为因变量，所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间为自变量的第二线性回归方程；将所述待测薄膜的表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间代入所述第二线性回归方程，计算得的所述超声波在所述待测薄膜表层中传播的表面声速。 8.根据权利要求7所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述建立以所述表面声速为因变量，所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间为自变量的第二线性回归方程，包括：建立以所述表面声速为因变量，所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间为自变量的第二线性回归模型；向多个不同密度和/或厚度的校准薄膜的第一表面提供激光脉冲检测信号，以在所述校准薄膜中激发超声波；并获取所述超声波在多个所述校准薄膜中传播的多个校准信号谱；根据多个校准信号谱，确定超声波在每一所述校准薄膜中传播的回波的回波到达时间，以及表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间；获取多个所述校准薄膜的厚度，并根据每一所述校准薄膜的厚度和所述回波到达时间，确定出所述超声波在每一所述校准薄膜中的声速；根据每一所述校准薄膜对应的所述声速，以及所述表面波的至少两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间，确定所述第二线性回归模型的第二回归系数，得到第二线性回归方程。 9.根据权利要求6所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述两个波峰和/或波谷到达所述第一表面的时间包括第一波谷到达所述第一表面的第一到达时间，以及第一波峰到达所述第一表面的第二到达时间。 10.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述待测薄膜包括碳膜。 11.根据权利要求1所述的薄膜的检测方法，其特征在于，所述激光脉冲激发信号包括飞秒激光束。
所属类别：	发明专利