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原文传递用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质

专利名称：	用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质
摘要：	本申请提出一种用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质，涉及扫描电镜技术领域。该方法包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像；确定初始图像中的样品杯和待测样品的位置信息；根据样品杯和待测样品的位置信息及相机的标定参数，确定第一坐标改正量；获取目标观测点的像素坐标及在第二坐标系中的目标位置坐标；根据像素坐标、第一坐标改正量及相机的标定参数，确定目标观测点在第二坐标系中的初始位置坐标；根据位置坐标控制样品台移动。本申请通过采集待测样品的图像，并根据目标观测点的像素坐标及图像相关信息，确定目标观测点的真实位置信息，实现样品观测点的准确、快速定位，有效提高了扫描电镜的观测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京中科科仪股份有限公司
发明人：	王靖夫
专利状态：	有效
申请日期：	2022-11-08T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-17T00:00:00+0800
申请号：	CN202211388684.8
公开号：	CN115616018A
代理机构：	北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人：	马永芬
分类号：	G01N23/2251;H01J37/28;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/26;G;H;G01;H01;G01N;H01J;G01N23;H01J37;G01N23/2251;H01J37/28;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/26
申请人地址：	100190 北京市海淀区中关村北二条13号
主权项：	1.一种用于扫描电镜的定位方法，其特征在于，包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及所述目标拍摄位置与相机间的距离，其中，所述待测样品位于样品杯上，所述样品杯位于样品台上；对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息；根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量；获取目标观测点在所述初始图像中的像素坐标及所述目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标；根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的初始位置坐标；根据所述初始位置坐标及所述目标位置坐标，控制所述样品台移动，以使所述目标观测点移动至目标位置。 2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的初始位置坐标，包括：根据所述像素坐标和像素长度，确定所述目标观测点在所述第一坐标系中的图像坐标；根据所述第一坐标改正量，对所述图像坐标进行修正，以确定所述目标观测点的修正坐标；根据所述修正坐标及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的所述初始位置坐标。 3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息，包括：对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品的边缘；基于所述样品杯和所述待测样品的边缘，确定所述样品杯和所述待测样品在所述第一坐标系中的所述位置信息。 4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量，包括：根据所述样品杯的位置信息，确定所述样品杯上的第一参考点在所述第一坐标系中的位置坐标；根据所述待测样品的位置信息，确定所述待测样品上的第二参考点在所述第一坐标系中的位置坐标及所述待测样品的长度；根据所述第一参考点的位置坐标、所述第二参考点的位置坐标及所述相机的标定参数，确定所述待测样品的厚度；根据所述待测样品的厚度、所述待测样品的长度以及所述目标拍摄位置与所述相机间的距离，确定成像偏移量；根据所述成像偏移量和所述待测样品的位置信息，确定所述第一坐标改正量。 5.如权利要求1-4任一所述的方法，其特征在于，所述根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的初始位置坐标，还包括：确定所述初始图像中的相机光学中心和所述样品杯的中心在所述第一坐标系中的位置信息；根据所述相机光学中心的位置信息和所述样品杯的中心位置信息，确定所述第一坐标系中的第二坐标改正量；根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量、所述第二坐标改正量以及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的所述初始位置坐标。 6.一种用于扫描电镜的定位装置，其特征在于，包括：第一获取模块，用于获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及所述目标拍摄位置与相机间的距离，其中，所述待测样品位于样品杯上，所述样品杯位于样品台上；识别模块，用于对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息；第一确定模块，用于根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量；第二获取模块，用于获取目标观测点在所述初始图像中的像素坐标及所述目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标；第二确定模块，用于根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在第二坐标系中对应的初始位置坐标；控制模块，根据所述初始位置坐标及所述目标位置坐标，控制所述样品台移动，以使所述目标观测点移动至目标位置。 7.一种电子设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机指令，所述处理器执行所述计算机指令时，实现如权利要求1-5中任一项所述的方法。 8.一种扫描电镜，其特征在于，包括如权利要求7所述的电子设备。 9.一种计算机可读存储介质，存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令被处理器执行时实现如权利要求1-5中任一项所述的方法。 10.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机指令，所述计算机指令在被处理器执行时实现如权利要求1-5中任一项所述的方法。