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原文传递一种半导体芯片快速检测机构

专利名称：	一种半导体芯片快速检测机构
摘要：	本实用新型涉及一种半导体芯片快速检测机构，包括：检测平台、置物组件、移动检测相机和固定检测相机。置物组件包括X运动板和Y运动板，X运动板滑动设置在检测平台上，且X运动板能够沿X方向运动；Y运动板用于放置待检测芯片，Y运动板滑动设置在X运动板上，且Y运动板能够沿Y方向运动。Y运动板相对的两侧分别设置有移动检测相机和固定检测相机，移动检测相机和固定检测相机的镜头均朝向Y运动板；移动检测相机滑动设置在检测平台上，且移动检测相机能够沿Y方向运动；固定检测相机固定设置在检测平台上，移动检测相机和固定检测相机能够同时对Y运动板上的芯片进行检测。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	湖南;43
申请人：	湖南奥创普科技有限公司
发明人：	王珲荣;晁阳升;陈争时
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-31T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-16T00:00:00+0800
申请号：	CN202222306738.3
公开号：	CN218067702U
代理机构：	北京易捷胜知识产权代理有限公司
代理人：	岑海梅
分类号：	G01N21/956;G01N21/01;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/956;G01N21/01
申请人地址：	410006 湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道588号芯城科技园2栋7楼7011房
主权项：	1.一种半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述半导体芯片快速检测机构包括：检测平台(1)、置物组件、移动检测相机(3)和固定检测相机(4)；所述置物组件包括X运动板(21)和Y运动板(22)，所述X运动板(21)滑动设置在所述检测平台(1)上，且所述X运动板(21)能够沿X方向运动；所述Y运动板(22)用于放置待检测芯片，所述Y运动板(22)滑动设置在所述X运动板(21)上，且所述Y运动板(22)能够沿Y方向运动，X方向和Y方向为相互垂直的两个方向；所述Y运动板(22)相对的两侧分别设置有所述移动检测相机(3)和所述固定检测相机(4)，所述移动检测相机(3)和所述固定检测相机(4)的镜头均朝向所述Y运动板(22)；所述移动检测相机(3)滑动设置在所述检测平台(1)上，且所述移动检测相机(3)能够沿Y方向运动；所述固定检测相机(4)固定设置在所述检测平台(1)上，所述移动检测相机(3)和所述固定检测相机(4)能够同时对所述Y运动板(22)上的芯片进行检测。 2.如权利要求1所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述X运动板(21)上设置有驱动机构(23)，所述驱动机构(23)能够驱动所述Y运动板(22)沿Y方向往复运动。 3.如权利要求1所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述Y运动板(22)上转动设置有工装块(24)，所述Y运动板(22)上固定设置有第一伺服电机(25)，所述第一伺服电机(25)的输出轴能够驱动所述工装块(24)转动，所述工装块(24)上设置有用于放置待检测芯片的工位。 4.如权利要求3所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述工位内设置有负压孔，所述工装块(24)通过所述负压孔能够吸附待检测芯片。 5.如权利要求1至4中任意一项所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述检测平台(1)上沿X方向设置有凹槽(11)，所述凹槽(11)内沿X方向设置有X导轨(12)，所述X运动板(21)滑动设置在所述X导轨(12)上。 6.如权利要求5所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述检测平台(1)上沿Y方向设置有Y导轨(13)，所述Y导轨(13)位于所述凹槽(11)之外，所述Y导轨(13)上滑动设置有Y运动平台(14)，所述移动检测相机(3)固定设置在所述Y运动平台(14)上。 7.如权利要求6所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述检测平台(1)上设置有第二伺服电机和驱动丝杆，所述驱动丝杆转动设置在检测平台(1)上，所述第二伺服电机的输出轴与所述驱动丝杆的一端固定连接，且所述Y运动平台(14)上设置有与所述驱动丝杆配合的内螺纹孔，所述第二伺服电机能够通过所述驱动丝杆驱动所述Y运动平台(14)沿Y方向运动。 8.如权利要求1至4中任意一项所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述移动检测相机(3)和所述固定检测相机(4)的镜头的中心线与待检测芯片的侧面垂直。 9.如权利要求8所述的半导体芯片快速检测机构，其特征在于，所述移动检测相机(3)和所述固定检测相机(4)的镜头的中心线共线。