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原文传递一种自动晶圆撕膜机构

专利名称：	一种自动晶圆撕膜机构
摘要：	本发明公开了一种自动晶圆撕膜机构，包括胶带供给模块和撕膜执行及工作台除尘模块；所述胶带供给模块包括第一安装座以及固定于第一安装座上的胶带供给轴、第一胶带卷绕轴、第一胶带夹紧轴、第二胶带卷绕轴、胶带远端卷绕轴、胶带张紧轴、第二摆臂轴、废胶带收集轴和第一摆臂轴。本发明提高产品生产效率、提升产品出货良率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市博辉特科技有限公司
发明人：	孙勇;杨其生;贺东林
专利状态：	有效
申请日期：	2022-10-10T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-24T00:00:00+0800
申请号：	CN202211235422.8
公开号：	CN115636156A
代理机构：	深圳市卓科知识产权代理有限公司
代理人：	任平
分类号：	B65B69/00;B;B65;B65B;B65B69;B65B69/00
申请人地址：	518000 广东省深圳市龙华区观湖街道樟坑径社区上围村宝业路6号厂房1101栋
主权项：	1.一种自动晶圆撕膜机构，其特征在于：包括胶带供给模块(1)和撕膜执行及工作台除尘模块(2)；所述胶带供给模块(1)包括第一安装座以及固定于第一安装座上的胶带供给轴(11)、第一胶带卷绕轴(12)、第一胶带夹紧轴(13)、第二胶带卷绕轴(14)、胶带远端卷绕轴(15)、胶带张紧轴(16)、第二摆臂轴(17)、废胶带收集轴(18)和第一摆臂轴(19)；所述胶带远端卷绕轴(15)、第二胶带卷绕轴(14)、第一胶带夹紧轴(13)和第一胶带卷绕轴(12)从左到右依次固定于安装座上方；所述胶带张紧轴(6)设置于胶带远端卷绕轴(15)和第二胶带卷绕轴(14)之间下方，胶带供给轴(11)设置于胶带张紧轴(6)一侧；所述第二摆臂轴(17)设置于胶带张紧轴(6)下方，第一摆臂轴(19)设置于胶带供给轴(11)下方；所述废胶带收集轴(18)接触设置与第二摆臂轴(17)下方一侧。 2.根据权利要求1所述的自动晶圆撕膜机构，其特征在于：所述撕膜执行及工作台除尘模块(2)包括第二安装座以及固定于第二安装座上的第三摆臂轴(21)、压膜轴(22)、第三胶带卷绕轴(23)和晶圆压板(24)；所述第三胶带卷绕轴(23)安装于第二安装座上方，晶圆压板(24)设置于第二安装座前端；压膜轴(22)设置于第三胶带卷绕轴(23)下方，且第三摆臂轴(21)设置于第三胶带卷绕轴(23)后方；所述撕膜平台(26)设置于晶圆压板(24)下方，并与压膜轴(22)平齐。 3.根据权利要求2所述的自动晶圆撕膜机构，其特征在于：所述撕膜平台(15)前端设置有等离子洁净器(27)。 4.根据权利要求2所述的自动晶圆撕膜机构，其特征在于：所述吸嘴接杆(25)上方安装有吸嘴接杆(25)。