专利名称: |
一种晶圆收货上架设备 |
摘要: |
本申请涉及一种晶圆收货上架设备,包括:可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线,所述输送线用于放置晶圆盒;纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架,所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆;推送机构,包括:设置于所述第二机架顶部的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。通过上述设置,实现了对多组晶圆盒的集中收集转运,并转运上货到用于收货的货柜上。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
苏州华融同创科技有限公司 |
发明人: |
钱成东 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2023-05-06T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-11-21T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202321060227.6 |
公开号: |
CN220056171U |
代理机构: |
苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
薛芳芳 |
分类号: |
B66F7/00;B65G1/04;B65G49/07;B66F7/28;B;B66;B65;B66F;B65G;B66F7;B65G1;B65G49;B66F7/00;B65G1/04;B65G49/07;B66F7/28 |
申请人地址: |
215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇凌港路7号 |
主权项: |
1.一种晶圆收货上架设备,其特征在于,包括: 可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线,所述输送线用于放置晶圆盒; 纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架,所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆; 推送机构,包括:设置于所述第二机架的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述输送线的数量为三组,三组所述输送线间距式设置,所述第一机架设置有输送电机用于驱动输送线,所述托杆的数量为两组且分别设置于输送线之间。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述第二机架纵向设置有滑轨,所述升降板设置有滑动连接于滑轨的滑块。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述第二机架设置有升降电机,所述第二机架的上下两端分别转动式装配有第一皮带轮和第二皮带轮,所述升降电机的动力输出轴驱动连接有第一皮带轮,所述第一皮带轮和第二皮带轮之间设置有驱动皮带,所述升降板的后侧设置有适配于驱动皮带的夹持件。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述第一皮带轮和第二皮带轮为齿轮,所述驱动皮带的内侧设置有齿条,所述推板和第二机架之间设置有吊轨,所述吊轨为T型导轨。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述第二机架的左右两侧纵向均匀设置有若干承接座,所述承接座放置有放置架,所述放置架为凵字形,且以升降电机一侧为开口套接在第二机架外侧。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述第一机架和第二机架的底部设置有承载轮。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备,其特征在于,所述输送线为滚筒式输送线或链板式输送线。 |
所属类别: |
实用新型 |