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用于半导体专用设备的机械手翻转装置
| 专利名称： | 用于半导体专用设备的机械手翻转装置 |
| 摘要： | 一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置，翻转输出座的表面上开有真空吸附接口， 翻转输出座内有与真空吸附接口连通的密闭腔室；翻转轴的后端固定连接一个与吸附驱动气 源连接的旋转接头，翻转轴沿轴心开有气道，气道的前端与翻转输出座的密闭腔室连通，气 道的后端与旋转接头的气道连通；翻转轴是一个自前至后直径渐小的阶梯轴，翻转轴最前端 的台阶上套有轴承，由轴承压盖和螺钉将翻转轴与轴座固定，轴座固定在基座上，在翻转轴 上位于轴承后一台阶套有轴承锁母，在翻转轴上位于轴承锁母后的台阶上固定有翻转齿轮， 翻转齿轮与 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 河北;13 |
| 申请人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 发明人： | 张玮琪;张志军 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-12-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200720201764.2 |
| 公开号： | CN201126814 |
| 代理机构： | 北京中建联合知识产权代理事务所 |
| 代理人： | 朱丽岩 |
| 分类号： | H01L21/67(2006.01)I |
| 申请人地址： | 065201河北省三河市燕郊开发区海油大街20号 |
| 主权项： | 1. 一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置，包括与翻转气缸 (11)相连的翻转轴(2)和固定在翻转轴前端的翻转输出座(1)，其特征在于： 翻转输出座(1)的表面上开有真空吸附接口(14)，翻转输出座(1)内有与真空吸 附接口(14)连通的密闭腔室(15)； 翻转轴(2)的后端固定连接一个与吸附驱动气源连接的旋转接头(8)，翻转轴(2) 沿轴心开有气道(16)，气道(16)的前端与翻转输出座的密闭腔室(15)连通，气道 (16)的后端与旋转接头(8)的气道连通； 翻转轴(2)是一个自前至后直径渐小的阶梯轴，翻转轴(2)最前端的台阶上套有轴 承(6)，由轴承压盖(4)和螺钉(13)将翻转轴(2)与轴座(3)固定在一起，轴座 (3)固定在基座(12)上，在翻转轴(2)上位于轴承(6)后一台阶套有轴承锁母(7)， 在翻转轴(2)上位于轴承锁母(7)后的台阶上固定套有翻转齿轮(5)，翻转齿轮(5)与 旁侧的主动齿轮(10)传动连接，主动齿轮(10)与翻转气缸(11)的输出轴连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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