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用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置
| 专利名称： | 用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置 |
| 摘要： | 一种测试半导体装置的机械手系统，包括：支承架；装在其上并在传送方向的横向相互隔开的传送带；用于驱动传送带的驱动电机；支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处沿与传送带传送方向的横向延伸的撑拉杆；装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊，这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外；使得可以将传送带从该支承架上卸下而不需卸开各撑拉杆；及由可使一传送带穿过其间的两半轴件构成的驱动轴。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 三星电子株式会社 |
| 发明人： | 沈载均 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1998-03-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN98105784.5 |
| 公开号： | CN1194230 |
| 代理机构： | 柳沈知识产权律师事务所 |
| 代理人： | 杨梧 |
| 分类号： | B65G23/00 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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