专利名称: | 测试分选机中半导体器件的传送方法及装置 |
摘要: | 利用收纳半导体器件的缓冲盘在用于测试该半导体器件的盘之间传送半 导体器件的方法及装置中,通过第一及第二传动部调节该缓冲盘的行方向的x 间距以使其与测试盘或用户盘的行方向的x间距相等。通过第一及第二拾取器 系统在该测试盘、该缓冲盘及该用户盘之间传送该半导体器件。由此,缩短了 传送该半导体器件所需的时间。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 赛科隆股份有限公司 |
发明人: | 李镇焕 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-10-18T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710181330.5 |
公开号: | CN101373726 |
代理机构: | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 |
代理人: | 尹洪波 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国忠南天安市车岩洞4-4番地 |
所属类别: | 发明专利 |