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一种带制冷器的微型气体富集器及其使用方法
| 专利名称： | 一种带制冷器的微型气体富集器及其使用方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种带制冷器的微型气体富集器，包括一个膜片型的气体富 集器和一个半导体制冷片，所述膜片型气体富集器由一个硅基板、一个玻璃顶 盖、进气口、出气口和设置在硅基板和玻璃顶盖之间的富集区构成，所述富集 区由一个或多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬 空膜片上方的薄膜加热器和吸附薄膜，所述半导体制冷片设置在膜片型气体富 集器的下方，并不与悬空膜片直接接触，而由空气腔间隔，所述空气腔由硅基 板、悬空膜片和半导体制冷片围成。本发明的微型气体富集器，不仅保持了膜 片型富集器热容量小，加热速率快的优势，而且增加了制冷功能，使得气体的 吸附可以在室温以下进行，吸附的气体更多，从而提高了富集效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 电子科技大学 |
| 发明人： | 杜晓松;蒋亚东;夏乐洋;胡 佳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-07-24T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910060102.1 |
| 公开号： | CN101607167 |
| 分类号： | B01D53/02(2006.01)I |
| 申请人地址： | 610054四川省成都市建设北路二段四号 |
| 主权项： | 1、一种带制冷器的微型气体富集器，包括一个膜片型的气体富集器和一个 半导体制冷片，所述膜片型气体富集器由一个硅基板、一个玻璃顶盖、进气口、 出气口和设置在硅基板和玻璃顶盖之间的富集区构成，所述富集区由一个或多 个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上方的 薄膜加热器和吸附薄膜，其特征在于，所述半导体制冷片设置在膜片型气体富 集器的下方，并不与悬空膜片直接接触，而由空气腔间隔，所述空气腔由硅基 板、悬空膜片和半导体制冷片围成。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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