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原文传递基板托持机构

专利名称：	基板托持机构
摘要：	本发明提供一种既可实现基板搬运高速化又能确保适当的搬运动作的基板托持机构。其中，在末端执行器(14)的托持面(14a) 上设置由碳纳米管制成的保持部(15)，并用碳纳米管的顶端来托持基板(W)。此时，基板和碳纳米管间产生分子间相互作用力，基板以对托持面具有一定吸引力的状态受其托持。该吸引力在大气中、空气中都会发生，且单位面积上碳纳米管的根数越多，吸引力越强。根据上述构造，可有效防止托持面上的被搬运物滑动，实现基板搬运的高速化。此外，碳纳米管有很好的耐热性，可防止在高温环境下使用时保持部因热变质或因粘着而引起的搬运不良，可确保适当的基板搬运动作。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	武者和博;南展史;川口崇文;村上裕彦;中野美尚;江上洋一
专利状态：	有效
申请日期：	2008-06-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880019238.1
公开号：	CN101678970
代理机构：	北京华夏正合知识产权代理事务所
代理人：	韩登营;栗涛
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
主权项：	1.一种基板托持机构，其特征在于，包括托持被搬运物的托持面和保持部，该保持部由碳纳米管形成，设置在所述托持面的至少一部分上。
所属类别：	发明专利