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原文传递末端执行器的磁性垫片

专利名称：	末端执行器的磁性垫片
摘要：	本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本发明的一个实施例提供了一种设备，其中该设备包含一个或多个末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片设置于其上而并非机械地接合到该一个或多个末端执行器。在一个实施例中，多个末端执行器垫片组件通过磁力耦合到该一个或多个末端执行器。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料公司
发明人：	金庆泰
专利状态：	有效
申请日期：	2009-08-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200980131075.0
公开号：	CN102119438A
代理机构：	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：	王安武
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	一种用以在一真空环境中支撑且转移大面积衬底的设备，包括：腕部，其耦合到驱动机构；一个或多个末端执行器，其耦合到该腕部，其中该一个或多个末端执行器用以接受且支撑大面积衬底；多个末端执行器垫片，其设置在该一个或多个末端执行器的衬底接受表面上，其中该多个末端执行器垫片用以接受该大面积衬底且避免该大面积衬底与该一个或多个末端执行器之间的直接接触，该多个末端执行器垫片未使用任何固定件机械地接合到该一个或多个末端执行器。
所属类别：	发明专利