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末端执行器及带有该末端执行器的基片传送自动机械
| 专利名称： | 末端执行器及带有该末端执行器的基片传送自动机械 |
| 摘要： | 在基片传送自动机械中的末端执行器，其包括：肘节板、以可沿垂直 方向移动的方式连接至肘节板以支承第一基片的第一托板、和连接至肘节 板以支承第二基片的第二托板，其中，第二托板靠近第一托板。升降装置 向上移动所述第一托板以让所述第一托板支承所述第一基片，向下移动所 述第一托板以让所述第二托板支承第二基片。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 细美事有限公司 |
| 发明人： | 河宗义 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-09-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810215787.8 |
| 公开号： | CN101383319 |
| 代理机构： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 尹洪波 |
| 分类号： | H01L21/687(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国忠南天安市业成洞623-5番地 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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