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原文传递试片夹持机械手末端执行器

专利名称：	试片夹持机械手末端执行器
摘要：	本发明的机械手(16)末端执行器(10，110，210)能干净利索地将半导体晶片(12)在晶片盒(14)和加工站之间转移。末端执行器包括近端和远端支承块(24，26，124，126)，它们的垫块和挡部分(32，34， 132，134)或者靠晶片周边的接触或者在晶片周边向里的环形禁区(30) 内支托和夹持晶片。主动接触头(50，150，220)可由真空驱动活塞(52， 152)在收缩的晶片装载位置和将晶片推向远端支承块的伸出的位置之间运动，以夹在晶片的边缘或其禁区。末端执行器还包括光纤光透
专利类型：	发明专利
申请人：	纽波特公司
发明人：	P·巴基;P·菲利普斯基
专利状态：	有效
申请日期：	1999-12-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510137638.0
公开号：	CN1801472
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	赵蓉民
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利