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原文传递载物台装置及涂敷处理装置

专利名称：	载物台装置及涂敷处理装置
摘要：	本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	稻益寿史;山崎刚;宫崎一仁
专利状态：	有效
申请日期：	2006-01-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110164551.8
公开号：	CN102358516A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：	田*;杨楷
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	一种载物台装置，具有在其上方输送基板的载物台、和使基板悬浮在该载物台上方的悬浮机构，其特征在于，上述载物台，具有多个小载物台，而小载物台具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于吸气而吸引基板的多个吸气口，上述悬浮机构，具有经由上述吸气口吸气的吸气机构、和经由上述气体喷射口喷射气体的气体喷射机构，利用基于上述吸气机构的经由上述多个吸气口的吸引、和基于上述气体喷射机构的经由上述多个气体喷射口的气体喷射，使基板以水平姿势从上述载物台的表面悬浮一定高度，上述吸气机构，具有：用于针对上述多个小载物台的每一个使上述多个小载物台分别具备的多个吸气口连通的多个配管部、用于连通上述多个配管部的分流器、为了经由上述分流器从上述多个小载物台的每一个上设置的多个吸气口吸气而连接在上述分流器上的吸气装置、和为了减小上述多个小载物台的每一个的吸气压力的偏差而连通上述多个配管部彼此的旁通管。
所属类别：	发明专利