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原文传递一种晶圆切割设备

专利名称：	一种晶圆切割设备
摘要：	本发明涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆切割设备，增强粉末清理效果；方便使用者操作；提高操作速度；包括切割台、夹紧机构、抽风机和操作机构，切割台上方设置有第一抽风管；还包括锥形收集罩、重力除尘箱、阻流板、聚集槽、第二抽风管、过渡管、第三抽风管、上固定环、下固定环、一组上支撑杆、一组下支撑杆、过滤布袋、抽拉杆、第一连接杆和第二连接杆；还包括上底座、下底座、一组上滑块、一组下滑块、一组上滚珠、一组下滚珠、上螺纹杆、下螺纹杆和一组把手；还包括限位杆、旋转杆、左螺纹杆和加长杆。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏英锐半导体有限公司
发明人：	王昌华
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201811008154.X
公开号：	CN108858833A
代理机构：	常州市权航专利代理有限公司 32280
代理人：	袁兴隆
分类号：	B28D5/00(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/00;B28D7/02
申请人地址：	224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
主权项：	1.一种晶圆切割设备，包括切割台（1）、夹紧机构（2）、抽风机（3）和操作机构（4），切割台（1）上方设置有第一抽风管（5）；其特征在于，还包括锥形收集罩（6）、重力除尘箱（7）、阻流板（8）、聚集槽（9）、第二抽风管（10）、过渡管（11）、第三抽风管（12）、上固定环（13）、下固定环（14）、一组上支撑杆（15）、一组下支撑杆（16）、过滤布袋（17）、抽拉杆（18）、第一连接杆（19）和第二连接杆（20），所述锥形收集罩（6）中央区域横向设置有收集孔，所述锥形收集罩（6）底侧壁与切割台（1）顶侧壁接触，所述切割台（1）内部设置有抽拉腔，切割台（1）右侧壁设置有抽拉口，抽拉口与抽拉腔连通，所述第一连接杆（19）左侧壁和右侧壁分别与锥形收集罩（6）右侧壁下半区域和第二连接杆（20）左侧壁顶部连接，所述第二连接杆（20）底侧壁与抽拉杆（18）顶侧壁右端连接，所述抽拉杆（18）插入到抽拉腔中，所述第一收集管输入端与锥形收集罩（6）右侧壁连通，所述重力除尘箱（7）内部设置有除尘腔，重力除尘箱（7）顶侧壁左半区域、右侧壁顶部和底侧壁中央区域分别设置有进气口、出气口和过渡口，进气口、出气口和过渡口均与除尘腔连通，所述第一抽风管（5）输出端密封安装在进气口处，所述聚集槽（9）内部设置有聚集腔，聚集槽（9）顶部中央区域设置有聚集口，聚集口与聚集腔连通，所述聚集槽（9）螺装至重力除尘箱（7）底部，过渡口与聚集口连通，所述阻流板（8）顶侧壁与重力除尘箱（7）内顶侧壁中央区域连接，所述第二抽风管（10）输入端密封安装在出气口处，所述第二抽风管（10）输出端与过渡管（11）输入端连通，所述上固定环（13）和下固定环（14）外侧壁分别与过渡管（11）内侧壁上半区域和下半区域连接，所述一组上支撑杆（15）顶侧壁和底侧壁分别与上固定环（13）底侧壁和下固定环（14）顶侧壁连接，一组上支撑杆（15）脱离过渡管（11）内侧壁，所述过滤布袋（17）内部设置有过滤腔，过滤布袋（17）顶部设置有过滤口，过滤口与过滤腔连通，所述过滤布袋（17）外侧壁顶部与上固定环（13）内侧壁密封连接，所述一组上支撑杆（15）外侧壁与过滤布袋（17）外侧壁部分连接，所述过滤布袋（17）外侧壁底部与下固定环（14）内侧壁部分连接，所述第三抽风管（12）输入端和输出端分别与第二抽风管（10）输出端和抽风机（3）输入端连通，所述一组下支撑杆（16）顶侧壁左端和右端均与下固定环（14）内侧壁连接；还包括上底座（21）、下底座（22）、一组上滑块（23）、一组下滑块（24）、一组上滚珠（25）、一组下滚珠（26）、上螺纹杆（27）、下螺纹杆（28）和一组把手（29），所述一组下滑块（24）底侧壁分别与切割台（1）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述一组下滑块（24）顶侧壁、前侧壁和后侧壁中央区域分别设置有一组下弧形放置槽，所述上底座（21）底侧壁分别设置有一组下卡装槽，一组下卡装槽顶侧壁、前侧壁和后侧壁分别设置有一组上弧形放置槽，所述一组下滑块（24）上半区域分别插入到一组下卡装槽内，所述一组下滚珠（26）分别位于一组下弧形放置槽内和一组上弧形放置槽内，所述一组上滑块（23）分别安装在下底座（22）顶侧壁左半区域和右半区域，所述一组上滑块（23）左侧壁、右侧壁和顶侧壁分别设置有一组下弧形盛放槽，所述上底座（21）底侧壁分别设置有一组上卡装槽，所述一组上滑块（23）上半区域分别插入到一组上卡装槽内，一组上卡装槽顶侧壁、左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有一组上弧形盛放槽，所述一组上滚珠（25）分别位于一组下弧形盛放槽内和一组上弧形盛放槽内，所述夹紧机构（2）安装在上底座（21）顶侧壁，所述下底座（22）中央区域设置有下固定孔，所述上底座（21）中央区域横向设置有上固定孔，下固定孔和上固定孔内侧壁上分别设置有与下螺纹杆（28）和上螺纹杆（27）外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆（27）和下螺纹杆（28）分别螺装穿过上固定孔和下固定孔，所述一组把手（29）分别安装在上螺纹杆（27）左侧壁和下螺纹杆（28）前侧壁上；还包括限位杆（30）、旋转杆（31）、左螺纹杆（32）和加长杆（33），所述限位杆（30）底侧壁与切割台（1）顶侧壁左端连接，所述限位杆（30）内部设置有旋转腔，限位杆（30）顶侧壁设置有旋转口，旋转口与旋转腔连通，所述旋转腔顶部和底部分别设置有上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35），所述旋转杆（31）底端穿过上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35），并且上滚珠轴承（34）和下滚珠轴承（35）均与旋转杆（31）键连接，所述限位杆（30）左侧壁设置有定位孔，定位孔内部设置有与左螺纹杆（32）外螺纹相对应的内螺纹，所述左螺纹杆（32）螺装穿过定位孔，所述左螺纹杆（32）左侧壁与加长杆（33）右侧壁底部连接，旋转杆（31）顶侧壁与操作机构（4）底侧壁连接。
所属类别：	发明专利