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原文传递 氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置
专利名称: 氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置
摘要: 一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置,依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性,根据检测对象,配置出相应浓度的氧气;将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度,再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压,测试该氧泵电流和氧浓差电势;根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势,判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本发明具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 陕西;61
申请人: 西安创联电气科技(集团)有限责任公司
发明人: 孙卫龙;魏勇建;贺立龙;周妤;钱璐;秦雄雄;付研博;吴垠昊
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810642471.0
公开号: CN108872349A
代理机构: 西安永生专利代理有限责任公司 61201
代理人: 申忠才
分类号: G01N27/416(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/416
申请人地址: 710065 陕西省西安市高新区电子工业园电子西街3号
主权项: 1.一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法,其特征在于包括如下步骤:(1)依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性,根据检测对象,配置出相应浓度的氧气;(2)将氮氧传感器陶瓷芯片加热到目标温度,再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压,测试该氧泵电流和氧浓差电势;(3)根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势,判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。
所属类别: 发明专利
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