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基板缺陷检测装置及利用它的检测方法
| 专利名称： | 基板缺陷检测装置及利用它的检测方法 |
| 摘要： | 根据本发明一实施例的基板缺陷检测装置包括：平台，其用于安放基板；托架，其沿X轴方向可移动地结合到所述平台；主移动块，其位于所述基板的上方且沿Y轴方向可移动地结合到所述托架；第一副移动块，其沿X轴方向可移动地结合到所述主移动块；探头，其设置在所述第一副移动块上以位于所述基板的上方，用于检测所述基板的缺陷；以及控制单元，其使所述托架沿X轴方向持续移动并控制相对于所述托架的所述副移动块的相对速度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 韩国;KR |
| 申请人： | 韩国机械研究院 |
| 发明人： | 卢承国;李成哲;金贤洙;金秉燮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201780004216.7 |
| 公开号： | CN108291879A |
| 代理机构： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 |
| 代理人： | 崔丽娟;杨明钊 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/01;G01N21/95 |
| 申请人地址： | 韩国大田市 |
| 主权项： | 1.一种基板缺陷检测装置，其包括：平台，其用于安放基板；托架，其沿X轴方向可移动地结合到所述平台；主移动块，其位于所述基板的上方且沿Y轴方向可移动地结合到所述托架；第一副移动块，其沿X轴方向可移动地结合到所述主移动块；探头，其设置在所述第一副移动块上以位于所述基板的上方，用于检测所述基板的缺陷；以及控制单元，其使所述托架沿X轴方向持续移动并控制相对于所述托架的所述第一副移动块的相对速度。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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