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原文传递一种基板处理系统

专利名称：	一种基板处理系统
摘要：	本申请涉及自动化领域，尤其涉及一种基板处理系统，用以解决现有技术中基板处理效率低、生产良率低的问题。该系统包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。本申请提供的技术方案采用搬运装置实现基板的自动转移搬运，无需人工参与，提高了基板处理效率，且在搬运过程中无人工接触，避免了对基板可能造成的污染及损坏，提升了基板良率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	昆山国显光电有限公司
发明人：	杨依辉
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810240582.9
公开号：	CN108438903A
代理机构：	北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：	许志勇
分类号：	B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/06
申请人地址：	215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
主权项：	1.一种基板处理系统，其特征在于，包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据人工检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。
所属类别：	发明专利