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一种多晶硅片、金刚线超声复合加工方法、加工装置及应用
| 专利名称： | 一种多晶硅片、金刚线超声复合加工方法、加工装置及应用 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅片的金刚线超声复合加工方法，属于太阳能硅片切割加工领域。该复合加工方法是：切割钢线往复切割多晶硅片的同时复合超声振动，所施加的超声振动方向与切割线运动方向和硅锭进给方向所形成的平面垂直。所施加的超声振动可以对工件施加也可以对切割钢线施加。该复合加工方法在金刚线运动切割产生沿钢线运动方向微缺陷中心的同时，复合超声振动在硅锭进给方向也产生微缺陷中心，在整个硅片表面形成较为均匀的微缺陷中心，有利于后续多晶硅片的制绒，能够形成均匀致密的陷光结构绒面，有利于多晶硅片转换效率的提高。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 安徽科技学院 |
| 发明人： | 鲍官培;黄丹丹;张春雨;乔印虎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810038023.X |
| 公开号： | CN108357001A |
| 代理机构： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 |
| 代理人： | 邓唯 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 申请人地址： | 239000 安徽省滁州市凤阳县东华路 |
| 主权项： | 1.一种多晶硅片，在多晶硅片的表面有线条状缺陷，其特征在于，所述的线条状缺陷在表面为均匀分布。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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