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一种柔性IC基板直线线路气泡及折痕缺陷检测系统及方法
| 专利名称： | 一种柔性IC基板直线线路气泡及折痕缺陷检测系统及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性IC基板直线线路气泡及折痕缺陷检测系统及方法，系统包括图像采集子系统、缺陷检测模块以及数据分析模块。方法包括：1)图像采集子系统控制显微镜对柔性基板进行定位拍照；2)通过“输入图像保护机制”，确保输入图像是覆膜柔性基板直线线路部位；3)提取覆膜柔性基板缺陷存疑区域；4)通过形态学处理对该二值图进行椒盐噪声的去除、凸干扰点的剔除以及区域细小空洞的填补；5)对确定含有缺陷的柔性基板图样计算多特征数值；6)判断该柔性基板图样中的缺陷从属于哪一类别，并在原图像中对缺陷区域进行标注。本发明较好地避免不同光照强度下柔性基板成像检测的缺陷误报，对覆膜基板多类缺陷的同时检测具有较高的准确率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 华南理工大学 |
| 发明人： | 胡跃明;李翼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810749681.X |
| 公开号： | CN108802051A |
| 代理机构： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
| 代理人： | 李斌 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88 |
| 申请人地址： | 511458 广东省广州市南沙区环市大道南路25号华工大广州产研院 |
| 主权项： | 1.一种柔性IC基板直线线路气泡及折痕缺陷检测系统，其特征在于，包括图像采集子系统、缺陷检测模块以及数据分析模块；所述图像采集子系统，用于控制显微镜对载物平台上放置的柔性基板进行定位拍照，目标位置为覆膜直线线路所在区域位置；所述缺陷检测模块，用于提取柔性基板输入图样的二值图，判断该二值图中存在缺陷的确定性，再对确定含有缺陷的该柔性基板图样提取缺陷区域，计算多特征数值；所述数据分析模块，用于判断该基板直线线路部位的缺陷类别，并对缺陷区域进行标注。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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