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原文传递脆性衬底的分断方法

专利名称：	脆性衬底的分断方法
摘要：	本发明是通过使具有突起部(PP)与从突起部(PP)延伸且具有凸形状的侧部(PS)的刀尖(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上，沿着从突起部(PP)朝向侧部(PS)的方向滑动，而使一面(SF1)上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线(TL)。通过使脆性衬底(4)的龟裂沿着沟槽线(TL)的至少一部分伸展而形成龟裂线(CL)。沿着龟裂线(CL)将脆性衬底(4)分断。沟槽线(TL)的形成步骤是以如下方式进行：在龟裂线(CL)的形成步骤中，龟裂线(CL)沿着沟槽线(TL)伸展的方向与形成有沟槽线(TL)的方向相同。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	三星钻石工业股份有限公司
发明人：	曾山浩
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201680055906.0
公开号：	CN108136618A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：	杨林勳
分类号：	B28D5/00(2006.01)I;C03B33/037(2006.01)I;B;C;B28;C03;B28D;C03B;B28D5;C03B33;B28D5/00;C03B33/037
申请人地址：	日本国大阪府
主权项：	一种脆性衬底的分断方法，其具备a)步骤，通过使具有突起部与从所述突起部延伸且具有凸形状的侧部的刀尖在脆性衬底的一面上，沿着从所述突起部朝向所述侧部的方向滑动，而使所述一面上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线；所述沟槽线是以获得无龟裂状态的方式形成，该无龟裂状态是在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态；还具备b)步骤，通过使所述脆性衬底的龟裂沿着所述沟槽线的至少一部分伸展而形成龟裂线；通过所述龟裂线，将在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态断开；还具备c)步骤，沿着所述龟裂线将所述脆性衬底分断；且所述步骤a)是以在所述步骤b)中所述龟裂线沿着所述沟槽线伸展的方向与形成有所述沟槽线的方向相同的方式进行。
所属类别：	发明专利