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原文传递一种集成化湿度传感器

专利名称：	一种集成化湿度传感器
摘要：	本实用新型公开了一种集成化湿度传感器，所述湿度传感器以C型硅杯(1)为衬底，在所述C型硅杯(1)的上表面生长有二氧化硅层(2)，在所述二氧化硅层(2)的上表面设置有叉指电极(3)，在所述二氧化硅层(2)的下表面设置有加热电阻(7)，在所述叉指电极(3)上设置有感湿层(4)，在所述二氧化硅层(2)的上表面、感湿层(4)周围设置有加磁线圈(5)；所述湿度传感器采用集成化工艺制备，具有集成化程度高、体积小的优点，并且，同时具有湿度检测的稳定性好、灵敏度高、响应时间快和线性度好等优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	黑龙江;23
申请人：	黑龙江大学
发明人：	赵晓锋;蓝德高;柳微微;温殿忠
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820147064.8
公开号：	CN207866749U
代理机构：	北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426
代理人：	刘冬梅;路永斌
分类号：	G01N27/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/22
申请人地址：	150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
主权项：	1.一种集成化湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器以C型硅杯(1)为衬底，在所述C型硅杯(1)的上表面生长有二氧化硅层(2)，其中，在所述二氧化硅层(2)的上表面设置有叉指电极(3)，在所述叉指电极(3)上设置有感湿层(4)，和，在所述二氧化硅层(2)的上表面、感湿层(4)周围设置有加磁线圈(5)。
所属类别：	实用新型