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原文传递一种基片表面检测方法和设备

专利名称：	一种基片表面检测方法和设备
摘要：	本发明提供一种基片表面检测方法和设备，利用基片同检测液体之间的接触线以及夹角的变化检测基片的均匀性。本发明提供一种基片表面检测方法和设备，其包括移动装置，第一容器，第一液体，液面探测装置；所述第一液体盛放在第一容器中；所述移动装置用于使基片与第一液体产生相对运动；所述液面探测装置用于探测液体与基片之间的夹角。这种方法可以用于检测基片表面的均匀性。本发明设备具有结构简单，造价低，检测速度快等特点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	赛纳生物科技（北京）有限公司
发明人：	陈子天;李文涛
专利状态：	有效
申请号：	CN201811016795.X
公开号：	CN109211733A
代理机构：	北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360
代理人：	苏爱华
分类号：	G01N13/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N13
申请人地址：	102206 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7楼1层101室
主权项：	1.一种基片表面检测方法，其特征在于，基片以一定的角度进入第一液体；通过基片与第一液体接触所产生的接触线，以及所产生夹角的均匀性检测基片表面的均匀性；所述第一液体在基片表面的接触角大于90度。
所属类别：	发明专利