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晶片表面颗粒物在线检测装置及晶片生产线
| 专利名称： | 晶片表面颗粒物在线检测装置及晶片生产线 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶片在线检测设备技术领域，尤其涉及一种晶片表面颗粒物在线检测装置及晶片生产线。该装置能集成在晶片生产线上，装置包括：激光发射器用于向晶片发射原始激光束；激光转换组件设置在激光发射器和晶片之间，用于将原始激光束转变为线激光，以使线激光垂直的入射晶片的表面，该线激光用于对行进中的晶片的表面进行面扫描；信号接收器与原始激光束的入射方向相偏离，用于在线激光入射到晶片表面时，接收由晶片反射的反射激光。该装置利用线激光对行进中的晶片进行连续扫描以实现面扫描，从而实现晶片的连续不停滞的实时在线缺陷检测，且该装置能集成在生产线上，从而实现晶片缺陷的在线实时检测。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 发明人： | 刘云龙;车星光;王志鹤;刘晓琴 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201821000149.X |
| 公开号： | CN208383753U |
| 代理机构： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
| 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 分类号： | G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室 |
| 主权项： | 1.一种晶片表面颗粒物在线检测装置，其特征在于，包括：激光发射器，用于向晶片发射原始激光束；激光转换组件，设置在所述激光发射器和所述晶片之间，用于将所述原始激光束转变为线激光，以使所述线激光垂直地入射所述晶片的表面，所述线激光用于对行进中的所述晶片的表面进行面扫描；信号接收器，与所述原始激光束的入射方向相偏离，用于在所述线激光入射到所述晶片表面时，接收由所述晶片反射的反射激光。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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