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原文传递一种单晶硅片移转支架

专利名称：	一种单晶硅片移转支架
摘要：	本实用新型公开了一种单晶硅片移转支架。包括：托板；托架，其可滑动地设置在所述托板的上方；以及多个弧形下支撑架，其沿轴向均布设置在所述托架上，用于为单晶硅片提供向上的支撑力；多组倒U形侧支撑架，其分别设置在所述弧形下支撑架的前侧和后侧，用于为单晶硅片提供侧向的支撑力；石英辊，其分别设置在所述倒U形侧支撑架的顶部，以及弧形下支撑架的左右两端。本实用新型的有益效果是：能够稳定支撑单晶硅片。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	锦州神工半导体股份有限公司
发明人：	何翠翠;韩刚;孙鹏
专利状态：	有效
申请号：	CN201821097565.6
公开号：	CN208376845U
代理机构：	北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369
代理人：	李烨
分类号：	B62B3/10(2006.01)I;B;B62;B62B;B62B3
申请人地址：	121001 辽宁省锦州市太和区解放西路94号
主权项：	1.一种单晶硅片移转支架，其特征在于，包括：托板；托架，其可滑动地设置在所述托板的上方；以及多个弧形下支撑架，其沿轴向均布设置在所述托架上，用于为单晶硅片提供向上的支撑力；多组倒U形侧支撑架，其分别设置在所述弧形下支撑架的前侧和后侧，用于为单晶硅片提供侧向的支撑力；石英辊，其分别设置在所述倒U形侧支撑架的顶部，以及弧形下支撑架的左右两端；其中，所述倒U形侧支撑架与水平面呈60°夹角，每组倒U形侧支撑架由高倒U形侧支撑架和低倒U形侧支撑架组成，所述高倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的后侧，低倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的前侧，所述高倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的2/3～3/4；所述低倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的1/3～1/2。
所属类别：	实用新型