原文传递
一种薄膜拉伸应变的测试装置及运行方法
| 专利名称： | 一种薄膜拉伸应变的测试装置及运行方法 |
| 摘要： | 一种薄膜拉伸应变的测试及运行方法，包括水平基座，水平基座上方放置有测试样品，测试样品上方设置有用于定位的显微镜，水平基座上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台，的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台顶部设置有左圆柱和右圆柱，左圆柱和右圆柱与设在测试样品的左圆孔和右圆孔对应设置，本发明具有测试平台简单、成本低、测试方便的特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安建筑科技大学 |
| 发明人： | 张晓民;冯杰;李金刚;任金彬 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201910001813.5 |
| 公开号： | CN109443932A |
| 代理机构： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 |
| 代理人： | 王晶 |
| 分类号： | G01N3/08(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3 |
| 申请人地址： | 710055 陕西省西安市雁塔路13号 |
| 主权项： | 1.一种薄膜拉伸应变的测试装置，其特征在于，包括水平基座(2)，水平基座(2)上方放置有测试样品(1)，测试样品(1)上方设置有显微镜(7)，所述的水平基座(2)上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)，所述的的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)顶部设置有左圆柱(14)和右圆柱(15)，左圆柱(14)和右圆柱(15)与设在测试样品(1)的左圆孔(10)和右圆孔(11)对应设置，所述的测试样品(1)由紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)和基底表面微桥薄膜样品(9)组成。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
