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原文传递一种薄膜拉伸应变的测试器

专利名称：	一种薄膜拉伸应变的测试器
摘要：	一种薄膜拉伸应变的测试器，包括水平基座，水平基座上方放置有测试样品，测试样品上方设置有用于定位的显微镜，水平基座上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台，的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台顶部设置有左圆柱和右圆柱，左圆柱和右圆柱与设在测试样品的左圆孔和右圆孔对应设置，本实用新型具有测试平台简单、成本低、测试方便的特点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西安建筑科技大学
发明人：	张晓民;冯杰;李金刚;任金彬
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201920002454.0
公开号：	CN209513435U
代理机构：	西安智大知识产权代理事务所
代理人：	王晶
分类号：	G01N3/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N3
申请人地址：	710055 陕西省西安市雁塔路13号
主权项：	1.一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，包括水平基座(2)，水平基座(2)上方放置有测试样品(1)，测试样品(1)上方设置有显微镜(7)，所述的水平基座(2)上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)，所述的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)顶部设置有左圆柱(14)和右圆柱(15)，左圆柱(14)和右圆柱(15)与设在测试样品(1)的左圆孔(10)和右圆孔(11)对应设置，所述的测试样品(1)由紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)和基底表面微桥薄膜样品(9)组成。 2.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)分别通过左高分辨率线性促动器(3)和右高分辨率线性促动器(4)进行调节。 3.根据权利要求2所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左高分辨率线性促动器(3)，可采用程序控制位移量，位移精度50纳米，用来驱动左轴向线性位移台(5)；所述的右高分辨率线性促动器(4)，采用手动调节控制位移量，位移精度0.5微米，用来驱动右轴向线性位移台(6)；所述的左高分辨率线性促动器(3)型号是M-230；右高分辨率线性促动器(4)型号是1D1V。 4.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)为16x32mm的矩形单晶硅样品，包括左圆孔(10)和右圆孔(11)，所述的紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)中间为基底裂纹(12)，基底裂纹(12)上部连接有圆孔(13)，下部设置有左圆孔(10)和右圆孔(11)。 5.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左圆孔(10)和右圆孔(11)为的通孔，圆孔(13)为的通孔。 6.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的微桥薄膜样品(9)由一系列宽w＝60微米、长度L＝400微米的条形薄膜组成，薄膜与紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)脱离，但两端仍然与附着在紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)表面的薄膜相连。
所属类别：	实用新型