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设置方法、检查方法、缺陷评估装置及结构体的制造方法
| 专利名称： | 设置方法、检查方法、缺陷评估装置及结构体的制造方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种设置方法。所述设置方法为了评估被检体的内部结构，将被检体的结构所在的区域中的至少一部分区域设置为对象区域，其包括：从被检体的结构所在的区域内设置任意位置；基于设置的位置设置对象区域。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 株式会社尼康 |
| 发明人： | 早野史伦;宫下和之;町井畅且;大熊博也 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201680087894.X |
| 公开号： | CN109477804A |
| 代理机构： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
| 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 分类号： | G01N23/04(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 日本东京都港区港南二丁目15番3号 |
| 主权项： | 1.一种设置方法，所述设置方法为了评估被检体的内部结构，将所述被检体的结构所在的区域中的至少一部分区域设置为对象区域，其包括：从所述被检体的结构所在的区域内设置任意位置；基于设置的所述位置设置所述对象区域。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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