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原文传递一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置及方法

专利名称：	一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置及方法
摘要：	本发明公开了一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置及方法，该方法包括将蓝宝石晶棒粘在工件垫条上，在槽轮之间布置金刚线网，将槽轮置于切割液存储箱中，向切割液存储箱中加入切割液，开启切割液循环过滤，按照切割方向进行浸入式切割；切割完成后，关闭提升泵，将切割液存储箱内切割液排至循环箱内；取出切割后晶片，清洗干净后将晶片放入片盒内，最后得到合格的晶片。该方法控制了切割时产生的热量和线网的张力波动，提高了切割后所得晶片的品质，提升了金钢线的使用寿命。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏吉星新材料有限公司
发明人：	陈飞;宋述远;蔡金荣
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
申请号：	CN201910468843.7
公开号：	CN110076919A
代理机构：	南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：	楼高潮
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	212200 江苏省镇江市扬中市油坊新材料工业园区
主权项：	1.一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置，其特征在于，包括切割组件、切割液存储箱、切割液循环箱、切割液过滤装置和提升泵，其中，切割组件设置于切割液存储箱中，切割液存储箱通过切割液过滤装置连接至切割液循环箱，切割液循环箱通过提升泵回连至切割液存储箱；所述切割组件包括工件垫条、槽轮和金刚线网，所述工件垫条悬于槽轮之上，所述金刚线网布置在所述槽轮之间，所述槽轮设置于所述切割液存储箱中的切割液的液面之下；所述切割液过滤装置包括呈递减阶梯式依次排布的一级循环缸、二级循环缸和三级循环缸，所述一级与二级循环缸的侧壁上设有溢流口，溢流口连接至下一个循环缸，所述切割液存储箱与一级循环缸相连，所述三级循环缸之上设置有浆料泵，并通过所述浆料泵与过滤器相连，所述过滤器连接至切割液循环箱。 2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置，其特征在于，所述浆料泵为多级离心泵。 3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置，其特征在于，所述过滤器的材质为不锈钢。 4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置，其特征在于，所述过滤器内设有过滤袋，所述过滤袋的目数为50以上。 5.基于权利要求1～4任一项所述装置的蓝宝石晶棒浸没式多线切割方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)将所需加工的蓝宝石晶棒按照需求晶向角度粘连在工件垫条上，并在槽轮之间布置金刚线网；步骤2)向切割液存储箱中加入切割液，并将所述切割液存储箱与循环箱相连；步骤3)将所述槽轮置于切割液存储箱中，浸没于切割液中，启动过滤装置，开始切割液循环过滤；步骤4)启动蓝宝石切割机，按照切割方向进行浸入式切割；步骤5)切割完成后，关闭提升泵，将切割液存储箱内切割液排至循环箱内；步骤6)取出切割后晶片，清洗干净后将晶片放入片盒内，得到合格的晶片。
所属类别：	发明专利