详情

原文传递原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法

专利名称：	原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法
摘要：	本发明公开了一种原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，按照以下步骤进行：S1：将各个大口径光学元件分别嵌入各自的安装夹持框中；S2：在各个大口径光学元件上安装遮光条；S3：将各个安装夹持框沿前后方向等距地装入高功率激光装置中；S4：当需要原位监测任一大口径光学元件的损伤情况时，打开该大口径光学元件的线光源，并关闭其余大口径光学元件的线光源；S5：利用图像采集设备采集该大口径光学元件的暗场图像。采用以上方法，具备了排除相邻元件干扰获取无伪损伤的高质量元件损伤图像的能力，能够直观地原位在线监测大口径光学元件的损伤，便捷高效获得损伤的尺寸和分布位置信息。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人：	张传超;王海军;张丽娟;蒋晓龙;陈静;方振华;廖威;栾晓雨;蒋晓东
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910514243.X
公开号：	CN110161052A
代理机构：	重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	蔡冬彦
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	621900 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
主权项：	1.一种原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于，按照以下步骤进行： S1：将各个大口径光学元件(5)分别嵌入各自的安装夹持框(1)中，使大口径光学元件(5)的外缘与位于对应安装夹持框(1)內侧的狭缝光阑(3)抵接，且狭缝光阑(3)的狭缝(3a)正对对应大口径光学元件(5)的外缘； S2：在各个大口径光学元件(5)的前后两侧表面分别安装有两圈遮光条(4)，各遮光条(4)的外缘分别或与对应的狭缝光阑(3)紧密贴合，或与对应安装夹持框(1)的內壁紧密贴合； S3：将各个装有大口径光学元件(5)的安装夹持框(1)沿前后方向等距地装入高功率激光装置中； S4：当需要原位监测任一大口径光学元件(5)的损伤情况时，打开该大口径光学元件(5)的线光源(2)，并关闭其余大口径光学元件(5)的线光源(2)； S5：利用图像采集设备采集该大口径光学元件(5)的暗场图像，获得该大口径光学元件(5)的损伤和分布数据。 2.根据权利要求1所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：步骤S1中，各狭缝光阑(3)的狭缝(3a)正对对应大口径光学元件(5)外缘的中间位置。 3.根据权利要求1所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：步骤S5中，图像采集设备为CCD相机和成像镜头。 4.根据权利要求1所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：所述安装夹持框(1)的内壁上凹陷形成有一圈沿安装夹持框(1)周向延伸的线光源安装槽(1a)，在该线光源安装槽(1a)的槽底安装有一圈沿安装夹持框(1)周向延伸的线光源(2)，在所述线光源安装槽(1a)的槽口安装有一圈安装夹持框(1)周向延伸的狭缝光阑(3)。 5.根据权利要求4所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：所述线光源(2)为LED线光源。 6.根据权利要求4所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：所述线光源(2)正对对应狭缝光阑(3)的狭缝(3a)。 7.根据权利要求4所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：所述线光源安装槽(1a)的宽度和深度与大口径光学元件(5)的厚度相同，所述线光源(2)的发光面宽度为大口径光学元件(5)厚度的0.3倍，所述狭缝光阑(3)的狭缝(3a)宽度为大口径光学元件(5)厚度的0.3倍。 8.根据权利要求1所述的原位监测密集排布大口径光学元件损伤的方法，其特征在于：所述遮光条(4)的宽度不小于大口径光学元件(5)厚度的0.94倍。
所属类别：	发明专利