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原文传递一种聚焦离子束双束系统样品台

专利名称：	一种聚焦离子束双束系统样品台
摘要：	本发明属于电子背散射衍射技术领域，特别是一种聚焦离子束双束系统样品台。包括：样品台主体：样品台主体上表面设置有凹形样品槽，凹形样品槽底部表面设置有弧形螺纹槽，凹形样品槽一侧的侧壁上设有螺纹通孔，螺纹通孔和弧形螺纹槽的轴线重合；紧固螺钉：穿过样品台主体一侧的螺纹通孔，将样品在紧固螺钉和凹形样品槽的另一侧之间固定，伸出螺纹通孔部分的紧固螺钉通过弧形螺纹槽固定在凹形样品槽的底部；固定杆：设置在样品台主体中部的下端，用于连接双束系统的旋转底座。本申请聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台，通过采用机械固定的方式对样品进行固定，有效的防止薄片样品的移动。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南京理工大学
发明人：	胡蓉;陈汉;薛晶;沙刚;靳慎豹
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910456982.8
公开号：	CN110208299A
代理机构：	南京理工大学专利中心
代理人：	张玲
分类号：	G01N23/20025(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	210094 江苏省南京市孝陵卫200号
主权项：	1.一种聚焦离子束双束系统样品台，其特征在于，包括：样品台主体(1)：样品台主体(1)上表面设置有凹形样品槽(2)，凹形样品槽(2)底部表面设置有弧形螺纹槽(5)，凹形样品槽(2)一侧的侧壁上设有螺纹通孔，螺纹通孔和弧形螺纹槽(5)的轴线重合；紧固螺钉(3)：穿过样品台主体(1)一侧的螺纹通孔，将样品在紧固螺钉(3)和凹形样品槽(2)的另一侧之间固定，伸出螺纹通孔部分的紧固螺钉(3)通过弧形螺纹槽(5)固定在凹形样品槽(2)的底部；固定杆(4)：设置在样品台主体(1)中部的下端，用于连接双束系统的旋转底座。 2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品台用于装载厚度小于1mm的薄片。 3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述固定杆(4)的高度可调，固定杆(4)的一端与样品台主体(1)连接，另一端与旋转底座连接且形状与底座预留连接装置匹配。 4.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品台的材质为硬质铝合金。 5.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述凹形样品槽(2)的侧面为锯齿状。 6.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述紧固螺钉(3)的下半部分与弧形螺纹槽(5)配合，紧固螺钉(3)的上半部分抵住样品以固定薄片状样品。 7.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述紧固螺钉(3)采用不锈钢制成。 8.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述紧固螺钉(3)的圆心与凹形样品槽(2)底部位于同一水平面上。
所属类别：	发明专利