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原文传递一种晶圆缺陷测试仪用纳米位移装置驱动器

专利名称：	一种晶圆缺陷测试仪用纳米位移装置驱动器
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪用纳米位移装置驱动器，涉及半导体技术领域，该驱动器在实现对纳米位移装置的精准驱动的同时，驱动器内各个电路模块配合工作可以当传感器位置或反馈电路偏移时自动调整传感器反馈信号零位，使用方便快捷，性能稳定，有效的解决了传感器安装需要反复调整、效率低的问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡卓海科技有限公司
发明人：	郭熙中
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201920128186.7
公开号：	CN209416904U
代理机构：	无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	聂启新
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	214000 江苏省无锡市天山路6-2407
主权项：	1.一种晶圆缺陷测试仪用纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述纳米位移装置驱动器包括：主控电路板、电源接口、指令输入接口、位移输出接口、驱动输出接口和反馈信号采集接口，所述主控电路板包括控制模块、电压转换模块、电压放大模块、信号处理模块、信号采集模块和偏置电压模块，所述控制模块的输入端连接所述指令输入接口，所述指令输入接口用于连接晶圆缺陷测试仪中的上位机并输入控制指令，所述控制模块的输入端连接所述电压转换模块，所述电压转换模块的输出端连接所述电压放大模块，所述电压放大模块的输出端连接所述驱动输出接口，所述驱动输出接口用于连接压电陶瓷；所述反馈信号采集接口连接所述信号采集模块，所述信号采集模块的输出端连接所述信号处理模块，所述信号处理模块的输出端连接所述控制模块，所述控制模块的输出端还连接所述位移输出接口，所述反馈信号采集接口用于连接并采集位移传感器反馈信号，所述位移输出接口连接所述晶圆缺陷测试仪中的上位机并用于将所述位移传感器反馈信号发送给所述上位机；所述控制模块的输出端还连接所述偏置电压模块，所述偏置电压模块的输出端连接所述信号处理模块并调整所述信号处理模块的输出电压零点；所述电源接口用于连接供电电源，所述电源接口连接所述主控电路板并为所述主控电路板供电。 2.根据权利要求1所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述主控电路板中还包括电流检测模块，所述纳米位移装置驱动器还包括过流检测输出接口，所述控制模块的输出端连接所述电流检测模块，所述电流检测模块的输出端连接所述过流检测输出接口，所述过流检测输出接口用于连接所述晶圆缺陷测试仪中的上位机。 3.根据权利要求1所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述指令输入接口包括数字输入信号子接口、模拟输入信号子接口和控制信号子接口，所述数字输入信号子接口、模拟输入信号子接口和控制信号子接口分别连接所述控制模块的输入端。 4.根据权利要求1至3任一所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述控制模块采用型号为STM32F103ZET6的模块。 5.根据权利要求1至3任一所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述电压转换模块包括数模转换子模块和稳压子模块，所述数模转换子模块包括型号为AD7538的数模转换器和型号为OPA2156的运算放大器，所述稳压子模块包括型号为L7924CV的三端稳压芯片。 6.根据权利要求2所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述信号处理模块、信号采集模块和电流检测模块均基于型号为OPA627的运算放大器。 7.根据权利要求1至3任一所述的纳米位移装置驱动器，其特征在于，所述偏置电压模块基于型号为AD7538的数模转换器和型号为OPA2156的运算放大器。
所属类别：	实用新型