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原文传递缺陷检测系统及其缺陷检测方法

专利名称：	缺陷检测系统及其缺陷检测方法
摘要：	本发明提供一种缺陷检测系统及其缺陷检测方法，所述缺陷检测系统包括：缺陷检测模块，包括：显微成像装置，用于对待检测物的多个待检测区域进行显微成像，所述多个待检测区域在所述待检测物的表面排列形成第一图案；及缺陷标记模块，包括：待标记物，所述待标记物包括多个待标记区域，所述多个待标记区域在所述待标记物表面形成第二图案，所述第二图案与所述第一图案相同，所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应；及遮盖物，与所述待标记物的表面相对设置，所述遮盖物上设置有开孔，所述开孔暴露出所述待标记物的至少一个待标记区域。所述缺陷检测系统及其缺陷检测方法提高了缺陷定位的准确率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	德淮半导体有限公司
发明人：	黄高;刘昌江;田茂;宋闯
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910608060.4
公开号：	CN110243840A
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	刘艳;吴敏
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
主权项：	1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：缺陷检测模块，包括：显微成像装置，所述显微成像装置用于对待检测物的多个待检测区域分别进行显微成像，所述多个待检测区域在所述待检测物的表面排列形成第一图案；以及缺陷标记模块，包括：待标记物，所述待标记物包括多个待标记区域，所述多个待标记区域在所述待标记物的表面排列形成第二图案，所述第二图案与所述第一图案相同，且所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应；以及遮盖物，所述遮盖物与所述待标记物的表面相对设置，所述遮盖物上设置有开孔，所述开孔暴露出所述待标记物的至少一个待标记区域。 2.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述显微成像装置包括物镜，所述物镜与所述待检测物的表面相对设置，所述待检测物的表面和所述待标记物的表面均沿水平方向延伸，所述物镜初始对准的待检测区域与所述遮盖物的开孔初始对准的待标记区域相对应；所述物镜和所述待检测物能够沿所述水平方向发生第一相对运动，以改变所述物镜对准的待检测区域，所述遮盖物的开孔和所述待标记物能够沿所述水平方向发生第二相对运动，以改变所述遮盖物的开孔对准的待标记区域，且在所述第一相对运动和所述第二相对运动的过程中，所述物镜对准的待检测区域与所述遮盖物的开孔对准的待标记区域始终保持对应。 3.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应包括：每个待标记区域和与其对应的一个待检测区域具有相同的形状和尺寸，且每个待标记区域在所述第二图案中的位置坐标和与其对应的一个待检测区域在所述第一图案中的位置坐标相同。 4.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，还包括：载物台，所述载物台用于承载所述待检测物和所述待标记物。 5.如权利要求2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述物镜和所述待检测物能够沿所述水平方向发生第一相对运动，所述遮盖物的开孔和所述待标记物能够沿所述水平方向发生第二相对运动包括：所述物镜和所述遮盖物的开孔各自的空间位置保持不变，所述待检测物和所述待标记物能够沿所述水平方向同步移动。 6.如权利要求2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述物镜和所述待检测物能够沿所述水平方向发生第一相对运动，所述遮盖物的开孔和所述待标记物能够沿所述水平方向发生第二相对运动包括：所述待检测物和所述待标记物各自的空间位置保持不变，所述物镜和所述遮盖物的开孔能够沿所述水平方向同步移动。 7.如权利要求5所述的缺陷检测系统，其特征在于，还包括运动控制装置，所述运动控制装置用于控制所述待检测物和所述待标记物沿所述水平方向的同步移动。 8.如权利要求6所述的缺陷检测系统，其特征在于，还包括运动控制装置，所述运动控制装置用于控制所述物镜和所述遮盖物的开孔沿所述水平方向的同步移动。 9.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述遮盖物的开孔的尺寸大于或等于所述多个待检测区域的平均尺寸、且小于所述多个待检测区域的平均尺寸的两倍。 10.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述待检测区域、所述待标记区域、和所述遮盖物的开孔三者的形状和尺寸均相同。 11.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述遮盖物的开孔的尺寸可以调节；和/或，所述开孔在所述遮盖物上的位置可以调节。 12.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述遮盖物由半透明或透明材料形成。 13.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述遮盖物的材料为硬塑料。 14.如权利要求1或2所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述遮盖物与所述待标记物之间有预设距离。 15.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述显微成像装置包括光学显微镜，所述光学显微镜包括物镜和目镜。 16.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述待检测物为晶圆，所述晶圆包括多个裸片，每个裸片为一个待检测区域。 17.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述待标记物为纸张或硬纸板，所述多个待标记区域通过绘图的方式形成于所述纸张或硬纸板上。 18.一种采用如权利要求1至17任一项所述的缺陷检测系统的缺陷检测方法，其特征在于，所述显微成像装置包括物镜，所述物镜与所述待检测物的表面相对设置，所述缺陷检测方法包括：步骤一：将所述显微成像装置的物镜与所述待检测物的某一待检测区域进行初始对准，将所述遮盖物的开孔与所述待标记物的某一待标记区域进行初始对准，所述某一待检测区域和所述某一待标记区域相对应；步骤二：采用所述显微成像装置对位于所述物镜当前视场内的待检测区域进行显微成像，并根据所述显微成像的结果，判定位于所述物镜当前视场内的待检测区域是否存在缺陷，若存在缺陷，则在所述遮盖物的开孔暴露出的待标记区域作标记，所述被标记的待标记区域与所述存在缺陷的待检测区域相对应；步骤三：控制所述物镜和所述待检测物沿水平方向作第一相对运动，以改变所述物镜对准的待检测区域，控制所述遮盖物的开孔和所述待标记物沿所述水平方向作第二相对运动，以改变所述遮盖物的开孔对准的待标记区域，在所述第一相对运动和所述第二相对运动的过程中，所述物镜对准的待检测区域与所述遮盖物的开孔对准的待标记区域始终保持对应；以及重复执行上述步骤二和步骤三，直至所述待检测物的每个待检测区域均已完成缺陷检测。 19.如权利要求18所述的缺陷检测方法，其特征在于，在执行所述步骤二之前，所述缺陷检测方法还包括：对所述待检测物和所述待标记物进行调平，使得所述待检测物的表面和所述待标记物的表面均平行于所述水平方向。 20.如权利要求18所述的缺陷检测方法，其特征在于，在执行所述步骤一之前，所述缺陷检测方法还包括：将所述待检测物和所述待标记物放置于载物台上。 21.如权利要求18或20所述的缺陷检测方法，其特征在于，在所述步骤三中，控制所述物镜和所述待检测物沿所述水平方向作第一相对运动，控制所述遮盖物的开孔和所述待标记物沿所述水平方向作第二相对运动包括：控制所述物镜和所述遮盖物的开孔各自的空间位置保持不变，控制所述待检测物和所述待标记物沿所述水平方向同步移动。 22.如权利要求18或20所述的缺陷检测方法，其特征在于，在所述步骤三中，控制所述物镜和所述待检测物沿所述水平方向作第一相对运动，控制所述遮盖物的开孔和所述待标记物沿所述水平方向作第二相对运动包括：控制所述待检测物和所述待标记物的空间位置保持不变，控制所述物镜和所述遮盖物的开孔沿所述水平方向同步移动。 23.如权利要求22所述的缺陷检测方法，其特征在于，控制所述物镜和所述遮盖物的开孔沿所述水平方向同步移动包括：所述开孔在所述遮盖物上的位置固定不变，控制所述物镜和所述遮盖物沿所述水平方向同步移动。 24.如权利要求22所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述开孔在所述遮盖物上的位置可以调节，控制所述物镜和所述遮盖物的开孔沿所述水平方向同步移动包括：控制所述遮盖物的空间位置保持不变，控制所述物镜和所述开孔沿所述水平方向同步移动。 25.如权利要求18所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述遮盖物的开孔的尺寸可以调节，在执行所述步骤一之前，所述缺陷检测方法还包括：调节所述开孔的尺寸大于或等于所述待检测物的多个待检测区域的平均尺寸、且小于所述多个待检测区域的平均尺寸的两倍。
所属类别：	发明专利