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原文传递界面缺陷检测系统及方法

专利名称：	界面缺陷检测系统及方法
摘要：	本发明提供了一种界面缺陷检测系统及方法，涉及缺陷检测技术领域，该系统应用于具有热障涂层的被测物体，该热障涂层内掺杂有荧光材料；该系统包括激光光源、二向色镜、滤波片和成像装置；滤波片和成像装置设置在二向色镜的一侧，被测物体设置在二向色镜的另一侧，二向色镜被设置成使得入射到被测物体表面的激发光束与被测物体激发的荧光光束同轴。与固定搭建的检测系统相比，本发明提供的界面缺陷检测系统可以实现检测系统整体便携式，实现一次快速成像，从而减少了检测时间，提高了检测效率；并且由于采用同轴光路，检测结果更加贴近实际，从而提高了精确度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	天津;12
申请人：	天津大学
发明人：	仇巍;张雁恒;亢一澜;曲传咏;张茜
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910638176.2
公开号：	CN110231324A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	赵李
分类号：	G01N21/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	300000 天津市南开区卫津路92号
主权项：	1.一种界面缺陷检测系统，其特征在于，应用于具有热障涂层的被测物体，所述热障涂层内掺杂有荧光材料；所述系统包括激光光源、二向色镜、滤波片和成像装置；所述滤波片和所述成像装置设置在所述二向色镜的一侧，所述被测物体设置在所述二向色镜的另一侧，所述二向色镜被设置成使得入射到所述被测物体表面的激发光束与所述被测物体激发的荧光光束同轴；所述激光光源出射的激发光束经所述二向色镜反射后入射到所述被测物体表面；所述被测物体基于所述激发光束背向激发的荧光光束依次透过所述二向色镜和所述滤波片后进入所述成像装置，并在所述成像装置中形成用于指示所述被测物体的热障涂层界面缺陷的荧光场图像。 2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括场光调节装置，所述场光调节装置设置在所述激光光源与所述二向色镜之间。 3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述场光调节装置包括扩束镜。 4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述场光调节装置还包括光圈，所述光圈设置在所述扩束镜与所述二向色镜之间。 5.根据权利要求2或3所述的系统，其特征在于，所述场光调节装置包括光束整形器，所述光束整形器用于将所述激发光束调整为能量分布均匀的平顶光。 6.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述扩束镜包括由两个凸透镜组成的扩束透镜组或由一个凸透镜和一个凹透镜组成的扩束透镜组。 7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述激光光源包括半导体泵浦固体激光器。 8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述滤波片包括与所述荧光光束的波长相匹配的窄带滤光片。 9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述成像装置包括CCD相机。 10.一种界面缺陷检测方法，其特征在于，应用于上述权利要求1-9中任一项所述的界面缺陷检测系统；所述方法包括：通过所述二向色镜的反射使所述激光光源出射的激发光束垂直入射到所述被测物体表面；通过所述二向色镜的透射和所述滤波片的滤波使所述被测物体基于所述激发光束背向激发的荧光光束进入所述成像装置；通过所述成像装置形成用于指示所述被测物体的热障涂层界面缺陷的荧光场图像。
所属类别：	发明专利