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原文传递光学检测系统及方法

专利名称：	光学检测系统及方法
摘要：	本发明涉及光学技术领域，公开一种光学检测系统及方法，以快速完成物体表面的缺陷检测。本发明系统包括：多光谱光源；位于所述多光谱光源与待测物体之间的偏转装置，用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上，并将偏转后不同波长的光束出射至所述待测物体；数据处理装置，用于接收由所述待测物体表面反射的光束，并将该反射光谱与对应标准件反射的参考标定光谱进行光谱差异对比，确定发生差异的波长，进而根据发生差异的波长计算所述待测物体表面缺陷所对应的空间坐标。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市麓邦技术有限公司
发明人：	陈琪;张礼朝;李晓春
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201910747399.2
公开号：	CN110376213A
分类号：	G01N21/93(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区石鼓路万科云城三期B区七栋C-601
主权项：	1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：多光谱光源；位于所述多光谱光源与待测物体之间的偏转装置，用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上，并将偏转后不同波长的光束出射至所述待测物体；数据处理装置，用于接收由所述待测物体表面反射的光束，并将该反射光谱与对应标准件反射的参考标定光谱进行光谱差异对比，确定发生差异的波长，进而根据发生差异的波长计算所述待测物体表面缺陷所对应的空间坐标。 2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述多光谱光源出射的光为自然光，所述偏转装置包括用于将自然光偏转成偏转角度相反的左旋圆偏振光与右旋圆偏振光的偏振光栅，对应的所述数据处理装置设有分别对应所述待测物体和所述标准件的两套并行的光谱获取组件；其中，当所述左旋圆偏振光对应所述待测物体时，所述右旋圆偏振光对应所述标准件；或者，当所述右旋圆偏振光对应所述待测物体时，所述左旋圆偏振光对应所述标准件。 3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述偏转装置包括：线性偏振器，邻近所述多光谱光源设置； 1/4波片，位于所述线性偏振器与所述第一偏振光栅之间；位于所述1/4波片与所述待测物体之间的第一偏振光栅，用于将左旋或右旋入射的不同波长的圆偏振光分别偏转成右旋或左旋方向出射的圆偏振光。 4.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，所述偏转装置还包括：部署于共用同一所述线性偏振器与所述1/4波片的位置上的分光器，用于将光束一分为二以分别对应所述待测物体和标准件；位于所述1/4波片与所述标准件之间的第二偏振光栅，用于将左旋或右旋入射的不同波长的圆偏振光分别偏转成右旋或左旋方向出射的圆偏振光。 5.一种光学检测方法，其特征在于，包括：设置多光谱光源，并在所述多光谱光源与待测物体之间设置偏转装置；由所述光谱偏转装置将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上，并将偏转后不同波长的光束出射至所述待测物体；接收由所述待测物体表面反射的光束，并将该反射光谱与对应标准件反射的参考标定光谱进行光谱差异对比，确定发生差异的波长，进而根据发生差异的波长计算所述待测物体表面缺陷所对应的空间坐标。 6.根据权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，所述多光谱光源出射的光为自然光，所述偏转装置包括用于将自然光偏转成偏转角度相反的左旋圆偏振光与右旋圆偏振光的偏振光栅，对应的所述数据处理装置设有分别对应所述待测物体和所述标准件的两套并行的光谱获取组件；其中，当所述左旋圆偏振光对应所述待测物体时，所述右旋圆偏振光对应所述标准件；或者，当所述右旋圆偏振光对应所述待测物体时，所述左旋圆偏振光对应所述标准件。 7.根据权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，所述偏转装置包括：线性偏振器，邻近所述多光谱光源设置； 1/4波片，位于所述线性偏振器与所述第一偏振光栅之间；位于所述1/4波片与所述待测物体之间的第一偏振光栅，用于将左旋或右旋入射的不同波长的圆偏振光分别偏转成右旋或左旋方向出射的圆偏振光。 8.根据权利要求7所述的光学检测方法，其特征在于，所述偏转装置还包括：部署于共用同一所述线性偏振器与所述1/4波片的位置上的分光器，用于将光束一分为二以分别对应所述待测物体和标准件；位于所述1/4波片与所述标准件之间的第二偏振光栅，用于将左旋或右旋入射的不同波长的圆偏振光分别偏转成右旋或左旋方向出射的圆偏振光。
所属类别：	发明专利