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原文传递在腔体检查缺陷的系统及其方法

专利名称：	在腔体检查缺陷的系统及其方法
摘要：	公开缺陷检查系统及其方法。检查出检查对象物的边缘有无缺陷的缺陷检查系统包括：光源部；及利用所述光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头可在腔体内部及腔体外部中至少一个拍摄所述检查对象物。本发明能够在腔体准确地检测出检查对象物的边缘。并且，本发明的目的是提供以非接触非破坏方式在腔体内部密闭的真空状态下也能够检查出检查对象物边缘有无缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	塞米西斯科株式会社
发明人：	李淳钟;李东锡;洪载和;申河荣;李镕式
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201910321869.9
公开号：	CN110530870A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	延美花;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	韩国京畿道水原市
所属类别：	发明专利