原文传递
一种微观元件外观缺陷的检测装置及检测方法
| 专利名称： | 一种微观元件外观缺陷的检测装置及检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微观元件外观缺陷的检测装置，包括：二自由度微动平台，用于装载、调整待测微观元件；图像采集装置，其用于拍摄待测微观元件并获得待测微观元件的表面图像；图像数据处理与运动控制单元，用于获取、分析表面图像以及确定待测微观元件表面是否具有外观缺陷，和用于控制二自由度微动台和图像采集装置；图像采集装置包括：架体，设于架体上的工业相机、照明单元，以及转动连接于架体上、具有一与工业相机对应的拍摄工位、设有高倍率大数值孔径镜头、以及设有低倍率宽视场镜头的镜头转换器。本发明还公开了一种微观元件外观缺陷检测方法。本发明解决了现有技术中使用高倍镜检测微观元件外观缺陷时难以快速定位微观元件中心的问题。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人： | 姜宏振;李艺;刘旭;刘勇;贺思敏;于德强;于劭洁;郑芳兰;柴立群 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-07-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-06T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910592894.0 |
| 公开号： | CN110542687A |
| 代理机构： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 汤春微 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 621900 四川省绵阳市绵山路64号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
