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原文传递一种边缘缺陷检测装置及方法

专利名称：	一种边缘缺陷检测装置及方法
摘要：	本发明公开了一种边缘缺陷检测装置及方法，包括：载物台，用于承载待测物；光源单元，用于提供检测光束，检测光束至少照射至待测物的待测边缘上；物镜，用于收集检测光束经待测边缘反射或散射后形成的处理光束；光程调制器，位于物镜与相机之间，用于对处理光束进行光程调制；主控模块，与光程调制器连接，用于调节光程调制器的光程调制性能；相机，用于根据光程调制器出射的信号光束形成待测边缘的图像，从而对缺陷进行更好的定位和识别。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海御微半导体技术有限公司
发明人：	杨朝兴
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910898266.5
公开号：	CN110567970A
代理机构：	北京品源专利代理有限公司
代理人：	孟金喆
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层
所属类别：	发明专利