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原文传递 能够识别与晶片载体有关的数据的自动运输系统及方法
专利名称: 能够识别与晶片载体有关的数据的自动运输系统及方法
摘要: 用于识别与晶片载体有关的数据的自动运输系统和方法,其中所述方法包括步骤:选择一个空闲的AGV,发送晶片载体运输命令和数据;分析运输数据,并访问放置要运输的晶片载体的半导体设备;数据读取装置读取与晶片载体有关的数据;将从主机接收的运输数据中与晶片载体有关的数据与已读取的与晶片载体有关的数据进行比较;如果比较的数据相同,则运输晶片载体。标准化记录/读取与晶片载体有关的数据,实现了全自动半导体生产线。
专利类型: 发明专利
申请人: 三星电子株式会社
发明人: 赵在雄
专利状态: 有效
申请日期: 1998-11-18T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN98122401.6
公开号: CN1229050
代理机构: 柳沈知识产权律师事务所
代理人: 马莹
分类号: B65G49/07
申请人地址: 韩国京畿道
所属类别: 发明专利
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