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原文传递晶片输送装置

专利名称：	晶片输送装置
摘要：	一种晶片输送装置，用以通过使输送臂沿竖直和前后方向相对于晶片盒移动来从晶片盒中取出晶片，该晶片盒在两端具有用来保持多张晶片的周缘部的沟槽，包括用来推出晶片的晶片推出机构。该机构设置在输送臂插入的晶片盒晶片出入侧的背面并且具有一个当与晶片接触时转动的推动销和一个用来驱动该销的驱动机构，以便把该销从晶片盒的背面向晶片出入侧推出。
专利类型：	发明专利
申请人：	奥林巴斯光学工业株式会社
发明人：	加藤智生; 木村桂司
专利状态：	有效
申请日期：	1998-10-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN98801544.7
公开号：	CN1242872
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	王以平
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利