专利名称: | 自动修复系统的缺陷检测装置及方法 |
摘要: | 本发明公开基板的缺陷检测装置及方法。根据本发明的一方面提供一种缺陷检测装置,该缺陷检测装置用于检测基板的缺陷,其特征在于,包括:基板移送部,沿着预设方向移送上述基板;图像生成部,用于生成基板的图像;单位像素识别部,从上述基板的图像识别上述基板内所包括的单位像素;存储部,用于存储单位像素的基准图像;图像对比部,对所生成的各单位像素的图像和上述存储部内所存储的基准图像进行对比;缺陷检测部,根据对比结果,检测各单位像素内是否存在缺陷;以及控制部,用于控制上述缺陷检测装置内的各构成要素。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 韩国;KR |
申请人: | HB技术有限公司 |
发明人: | 安钟植;尹汝凛;丁炫硕;朴世景;金芝珉 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2018-08-20T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-12-17T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201810948050.0 |
公开号: | CN110579477A |
代理机构: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) |
代理人: | 郭放;许伟群 |
分类号: | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: | 韩国忠清南道 |
所属类别: | 发明专利 |