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直接从移动运输装置上卸载基片载体的基片载体搬运器
| 专利名称： | 直接从移动运输装置上卸载基片载体的基片载体搬运器 |
| 摘要： | 在本发明的第一方面中，一基片加载站用于连续传送基片载体的运输装置。一个基片载体搬运器作为该基片加载站的一部分，对其进行操作从而和运输装置交换基片载体同时基片载体在运动中。载体交换过程可以包括使基片载体搬运器的端部操作装置以与运输装置的速度大体上相匹配的速度来运动。本发明还提供了许多其它的方面。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料有限公司 |
| 发明人： | 迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·赫金斯;;埃里克·A·恩格尔哈德;;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-08-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN03132696.X |
| 公开号： | CN1495850 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 刘志平 |
| 分类号： | H01L21/00 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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