专利名称: | 小批量尺寸基片载体 |
摘要: | 本发明在第一方面,提供一设备用于打开基片载体的基片载体门。该设备包括一支撑构件,该支撑构件适合于(1)在装卸口处支撑该基片载体门;(2)允许该门从基片载体上移开;和(3)将已经移开的门枢转到基片载体的底部表面下方。还提供了数个其他方面。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 应用材料有限公司 |
发明人: | 马丁·R·艾利奥特;迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈德根斯;埃里克·A·恩格尔哈特;维克托·贝里特斯基 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-02-05T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510069730.8 |
公开号: | CN1683219 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 董敏 |
分类号: | B65D85/30 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚 |
所属类别: | 发明专利 |