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原文传递 小批量尺寸基片载体
专利名称: 小批量尺寸基片载体
摘要: 本发明在第一方面,提供一设备用于打开基片载体的基片载体门。该设备包括一支撑构件,该支撑构件适合于(1)在装卸口处支撑该基片载体门;(2)允许该门从基片载体上移开;和(3)将已经移开的门枢转到基片载体的底部表面下方。还提供了数个其他方面。
专利类型: 发明专利
申请人: 应用材料有限公司
发明人: 马丁·R·艾利奥特;迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈德根斯;埃里克·A·恩格尔哈特;维克托·贝里特斯基
专利状态: 有效
申请日期: 2005-02-05T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200510069730.8
公开号: CN1683219
代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人: 董敏
分类号: B65D85/30
申请人地址: 美国加利福尼亚
所属类别: 发明专利
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