专利名称: | 小批量光刻台 |
摘要: | 在第一方面中,本发明提供了一种小批量光刻台。该小批量光刻台包括: (1)多个光刻工具;及(2)适于将小批量衬底载体传送到光刻工具的小批 量传输系统。每个小批量衬底载体适于保持少于13块衬底。本发明还提供许 多其他方面。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 应用材料有限公司 |
发明人: | E·A·恩格尔哈特;V·沙阿 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-06-10T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510091302.5 |
公开号: | CN1734715 |
代理机构: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人: | 赵蓉民 |
分类号: | H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |