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小批量光刻台
| 专利名称： | 小批量光刻台 |
| 摘要： | 在第一方面中，本发明提供了一种小批量光刻台。该小批量光刻台包括： (1)多个光刻工具；及(2)适于将小批量衬底载体传送到光刻工具的小批 量传输系统。每个小批量衬底载体适于保持少于13块衬底。本发明还提供许 多其他方面。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料有限公司 |
| 发明人： | E·A·恩格尔哈特;V·沙阿 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-06-10T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510091302.5 |
| 公开号： | CN1734715 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 赵蓉民 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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