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原文传递升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法

专利名称：	升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法
摘要：	本发明提供了一种升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法，所述升降机构包括箱体、蜗杆、蜗轮和丝杆；在所述蜗杆转动时驱使所述蜗轮转动，并通过所述蜗轮转动带动所述丝杆在竖直方向升降运动。本发明所提供的升降机构能够在有限的空间内同时满足高精度和大负载的垂向升降调节要求。以及，本发明还进一步的采用了防转限位机构，防止丝杆转动以使得蜗轮和蜗杆的出力被丝杆完全接收，同时限制了丝杆的运动范围，使得整个传动机构具有更高的效率及可靠性。此外，本发明提供的一种升降机构，弥补了现有技术中高精度、大负载及小尺寸升降机构的空缺，并且应用于例如光刻机领域中，也可相应提升其光刻效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人：	管博然;黄亚庆;丛国栋
专利状态：	有效
申请日期：	2018-01-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201810031987.1
公开号：	CN110028008A
代理机构：	上海思捷知识产权代理有限公司
代理人：	王宏婧
分类号：	B66F3/18(2006.01);B;B66;B66F;B66F3
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张东路1525号
主权项：	1.一种升降机构，其特征在于，所述升降机构包括箱体、蜗杆、蜗轮和丝杆；所述蜗杆和所述蜗轮设置在所述箱体内，所述蜗杆与所述蜗轮的外螺纹配合连接，所述蜗轮的内螺纹套设于所述丝杆上，所述丝杆竖直设置并从所述箱体延伸出；在所述蜗杆转动时驱使所述蜗轮转动，并通过所述蜗轮转动带动所述丝杆在竖直方向升降运动。 2.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，在所述丝杆的侧壁上设置有防转限位槽，在所述箱体上设置有与所述防转限位槽位置对应的插孔，所述升降机构还包括滑块，所述滑块插入所述插孔并卡设在所述防转限位槽中，所述丝杆上的所述防转限位槽、所述箱体上的所述插孔和所述滑块构成了所述丝杆的防转限位机构。 3.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述防转限位机构为一个。 4.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述防转限位机构为两个。 5.根据权利要求4所述的升降机构，其特征在于，两个所述防转限位机构关于所述丝杆的中心轴对称设置。 6.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述蜗轮和所述蜗杆的传动比范围为1:40～1:120。 7.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述蜗轮的内螺纹的螺距小于2mm。 8.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括多个蜗轮轴承，多个所述蜗轮轴承设置在所述箱体内，并沿着竖直方向分别设置在所述蜗轮的上方和下方，位于所述蜗轮下方的所述蜗轮轴承支撑所述蜗轮。 9.根据权利要求8所述的升降机构，其特征在于，所述蜗轮轴承抵推所述蜗轮，以使所述蜗轮和所述箱体之间的保持预定间隙。 10.根据权利要求8所述的升降机构，其特征在于，所述蜗轮轴承为交叉滚子轴承。 11.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括多个蜗杆轴承，多个所述蜗杆轴承设置在所述箱体内，并沿着所述蜗杆的长度方向套设在所述蜗杆上，以径向限位所述蜗杆。 12.根据权利要求11所述的升降机构，其特征在于，所述蜗杆轴承为向心球轴承。 13.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述箱体包括上侧箱体和下侧箱体，所述上侧箱体和所述下侧箱体分别从所述蜗轮的上方和下方包覆所述蜗轮，其中，在所述上侧箱体和所述下侧箱体的对应位置上均设置有圆锥销孔，将一圆锥销插入所述圆锥销孔中，以使所述上侧箱体和所述下侧箱体对准固定。 14.根据权利要求13所述的升降机构，其特征在于，所述下侧箱体包括：第一部分，弧形槽结构，用于从所述蜗杆下方包覆所述蜗杆；第二部分，具有一盘状支撑件和辅助支撑件，用于从所述蜗轮下方包覆所述蜗轮；其中，所述盘状支撑件和所述弧形槽的侧壁在水平方向上相互连接，所述辅助支撑件设置在所述盘状支撑件的下方，所述辅助支撑件的底部和所述第一部分的所述弧形槽的底部在同一水平面上；所述辅助支撑件延伸设置在所述第一部分和第二部分的连接处，并与所述第一部分连接，以增加第一部分和第二部分的连接处的厚度尺寸。 15.一种升降台装置，其特征在于，包括：如权利要求1-14中任一项所述的升降机构，工作平台，设置在所述升降机构中的所述丝杆的上方并与所述丝杆的顶端连接，通过所述丝杆的升降实现所述工作平台的升降。 16.一种光刻机，其特征在于，采用如权利要求15所述的一种升降台装置。 17.一种光刻方法，其特征在于，采用如权利要求16所述的一种光刻机。
所属类别：	发明专利