详情

原文传递半导体处理系统中的端口机构

专利名称：	半导体处理系统中的端口机构
摘要：	在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	吉田哲雄;佐佐木义明;佐伯弘明;谷山育志;泷泽浩士
专利状态：	有效
申请日期：	2003-02-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03803618.5
公开号：	CN1630942
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利