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基板上浮装置
| 专利名称： | 基板上浮装置 |
| 摘要： | 本发明在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在 支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13) 接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 发明人： | 冈平裕幸 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-04-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200480000436.5 |
| 公开号： | CN1697768 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 胡建新 |
| 分类号： | B65G49/06 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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