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原文传递基板处理装置

专利名称：	基板处理装置
摘要：	本发明提供的基板处理装置具有：多个处理室(20)，用于对容纳在其内部的基板实施处理；运送箱(24)，用于将容纳的基板运送至处理室 (20)；移动机构，用于使运送箱(24)沿着移动线路进行移动。运送箱 (24)在被从外部气氛隔离开的状态下容纳基板。多个处理室(20)以排列在运送箱(24)的移动线路的两侧的状态而配置，运送箱(24)与被排成两列而配置的处理室(20)的运送口(20a)相对应地具有两个运送口 (24a)。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	野泽俊久;松冈孝明
专利状态：	有效
申请日期：	2004-08-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200480001617.X
公开号：	CN1717796
代理机构：	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人：	王怡
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利