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原文传递基板搬送装置及基板支承体

专利名称：	基板搬送装置及基板支承体
摘要：	本发明提供一种基板搬送装置，即使在搬送大型基板时，也能够将基板保持在基本水平的状态。就拾取部(202)来说，在其基端部，使用沿垂直方向牵引该拾取部的牵引螺钉(210)以及在垂直方向按压拾取部(202)的按压螺钉(211)，将该拾取部固定在拾取部基部(201) 上，从其基端部侧朝向前端部侧与水平轴形成规定的角度向斜上方延伸，前端部的高度位置位于高于其基端部(由拾取部基部(201)形成的支承端)的位置上。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	冈部星儿;天野健次
专利状态：	有效
申请日期：	2007-01-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710001578.9
公开号：	CN1994841
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利